Сфокусировать луч в точку диаметром 20-50 мкм (экспонирование)

Хочу сделать установку для лазерного экспонирования фоторезиста, но с оптикой никогда не связывался. Похожих тем не нашел.
Подскажите, как правильно сфокусировать луч на расстоянии от лазера 1-10 см в пятно 20-50 мкм?
И обеспечить угол расхождения (1-5 град), чтобы расстоянием регулировать диаметр пятна засвета.
Будет ли пятно засвета при большом диаметре иметь одинаковую (+-10%) мощность света по всей площади пятна? Ибо смотря на китайуказки или дискотечные лазеры вижу что засвет у пятна обычно ну совсем не равномерный.

Регулировка встроенного в модуль коллиматора сможет обеспечить такую фокусировку или нужно ставить дополнительную оптику?

 

Вас что, в Сети забанили? Забейти в гугель что-то типа "засветка фоторезиста лазером". Куча ссылок. Например, . В основном народ экспонирует фиолетом, 405 нм. Всё работает. Ищите сами "товарищей по несчастью".

 

Мирон, не поверите - забивал. Действительно куча ссылок. Только ни в одной из них внятного ответа на поставленные вопросы не нашел. И, к слову, в этом видео - тоже. А покупать 10 лазеров и линз чтобы перепробовать и понять что вероятно вообще по другому делать надо - ну не хочется.

 

Я Вам тоже точных указаний дать не могу. Ибо сам этой проблемой не занимался. Скажу только, что сфокусировать пучок в 50-60 мкм можно. 20 мкм - это уже трудно и дорого. Равномерное распределение интенсивности по поперечному сечению - это тоже трудно.